1959年前苏联学者里沃夫(В.B.ПьBOB)设计出石墨炉原子化器,1960年提出了电热原子化法(即非火焰原子吸收法),使原子吸收分析的灵敏度有了极大提高。
1965年威尼斯(J.B.Willis)将氧化亚氮-乙炔火焰用于原子吸收法中,使可测定元素数目增至70个。
1967年马斯曼(H.Massmann)对里沃夫石墨炉进行改进,设计出电热石墨炉原子化器(即高温石墨炉)。
20世纪60年代后期发展了“间接原子吸收分光光度法”,使过去难以用直接法测定的元素和有机化合物的测定有了可能。
1971年美国瓦里安(Varian)公司生产出世界上第一台纵向加热石墨炉,并首先发展Zeemen背景校正技术。
1981年原子吸收分析仪实现操作自动化。
1984年第一台连续氢化物发生器问世。
1990年推出世界上最先进的Mark V1焰燃烧头。
1995年在线火焰自动进样器(SIPS8)研制成功并投入使用。
1998年第一台快速分析火焰原子吸收220FS诞生。
2002年世界上第一套火焰和石墨炉同时分析的原子吸收光谱仪生产并投放市场。
现在,原子吸收分光光度计采用最新的电子技术,使仪器显示数字化、进样自动化,计算机数据处理系统使整个分析实现自动化。